1. MEMS技术
MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。mems陀螺仪的特点: MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是
1. 体积小、重量轻，其边长都小于 1mm，器件核心的重量仅为1.2mg。
2. 成本低
3. 可靠性好，工作寿命超过 10 万小时，能承受1000g 的冲击。
4. 测量范围大
2. 微机电MEMS技术
MEMS是微机电系统，是指尺寸在几毫米乃至更小的传感器装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。简单来说，MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔TSV 等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上，最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的硅基传感器。
3. MEMS技术是一种
mems即微机电系统，是英语MicroelectromechanicalSystems的缩写。
mems是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。
微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。
4. mems技术特点
TPS: 轮胎压力传感器。
传感器的特点包括：微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化，它不仅促进了传统产业的改造和更新换代，而且还可能建立新型工业，从而成为21世纪新的经济增长点。微型化是建立在微电子机械系统（MEMS）技术基础上的，已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。
5. MEMS技术可分类为
1.塑料话筒线
此类话筒线是以塑料为材质而制造的穿线管，此类话筒线有绝佳的防漏电性能。常见的规格如下：
PVC(PVC-U)塑料电线管(硬管)：此类话筒线一般用在建筑物内它的材质是硬塑料，硬度较强;
PE话筒线(成卷软管)：抗挤压，一般用在墙体内部;
塑料波纹管(阻燃波纹管、线束套管、高密度波纹管、耐高温护套管等)：这类话筒线直径较大，一般来说用于多条电线;
2.金属管类
普通碳素钢电线套管(电线管通常在工业与民用建筑、安装机器设备等电气安装工程中使用，其主要的使用目的是为了保护电线。因此此类话筒线具有良好的抗压性;金属蛇皮管(镀锌蛇皮管、包塑金属蛇皮管、不锈钢蛇皮管)：
金属蛇皮管顾名思义就是使用金属材质，外形如同蛇皮的一类穿线管，它具有一定的柔韧性和抗压性以及抗拉性。
3. 陶瓷管类
这一类话筒线是使用陶瓷为材质制造的穿线管，这一类话筒线具有十分优良的绝缘性和抗腐蚀性，也不容易在环境中老化。
6. mems技术是什么意思
答MEMS与传感器的关系如下:
MEMS,(英语全称为Microelectromechanical Systems),翻译成中文就是「微机电系统」。
MEMS是一种将微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术,MEMS的发展涉及并影响着很多领域的科学研究与技术进步,包括电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等。通常,它的操作尺度在微米级别。
MEMS产业得以繁荣发展,离不开半导体产业材料、加工技术的长足进步。相对于传统传感器,MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、成本低、适于批量化生产、易于集成等优势。MEMS传感器也可以是智能传感器。
而随着 人工智能技术的进步,用于AI人工智能技术赋能传感器,催生了「智能传感器」。
智能传感器具有信息处理功能器,其「智能」属性主要体现在「信息搜集」「智能处理」等方面,从而筛选出最具价值的信息,反馈给信息终端。
传感器智能化,可以降低成本、提升精度,相对于普通传感器,其适应能力也更强。
相对来说,MEMS传感器与智能传感器可以说是两种不同类型,但它们都具有成本低、性能稳定和体积小等特点。针对不同的应用场景,MEMS传感器与智能传感器可以表现出各自不同的优势。
7. mems技术及其应用
王利，男，1967年12月生，山西省大同人，教授，博士，现为中北大学机械电子工程系教师，机电工程学院机电控制工程系探测制导与控制技术专业建设负责人，主要从事电磁感应技术与定距控制技术方面的研究。目前主持参与纵横向科研项目五项。 主要学历： 1989.07 太原机械学院获工学学士学位，专业：电子精密机械； 1994.03 华北工学院获工学硕士学位，专业：引信技术； 2002.03 南京理工大学获工学博士学位，专业：机械电子工程； 2002.08 东南大学博士后，专业：控制理论与科学。 主讲本科生课程：《可靠性工程基础》、《引信设计原理》、《电子精密机械原理》、《专业外语》、《微机原理》、《MEMS技术及应用》、《单片机原理》、《机械优化设计》。 主讲硕士生课程：《专业英语》、《机电系统信号检测与控制技术》、《新型传感器技术》。